化学气相沉积法制备TiC涂层的相组成和表面形貌

摘要：

用化学气相沉积法在碳／碳复合材料表面沉积ＴｉＣ涂布，研究了工艺参数对ＴｉＣ涂层的相组成和表面形貌的影响，分析了化学气相沉积ＴｉＣ涂层过程的基本规律及沉积机理。结果表明；提高沉积温度和Ｈ＜，２＞／ＣＨ＜，４＞的流量化，有利于减少涂层的游离碳；随着沉积温度的升高，ＴｉＣ涂层颗粒尺寸增大，均匀程度下降。

关键词： 化学气相沉积 碳化钛涂层 相组成 碳/碳复合材料

作者: 郭海明 舒武炳 乔生儒 白世鸿 孟国文

作者单位: 工业大学401教研室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国复合材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 403～407

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）