关键词： 化学气相沉积 金刚石 薄膜 产业化
作者: 吕反修 唐伟忠
作者单位: 科技大学
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 70～74
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）