应用于半导体化学机械研磨之纳米级超微细二氧化铈粉末新制程技术

摘要：

该研究已发明利用粉体覆盖管表面(Powder on Template Surface; POTS)方法制备纳米超微细二氧化铈研磨粉末。其已应用于半导体化学机械研究制程之聚亚芳香醚(Polyarylene ether; PAEL; Flare<”TM> 2.0)高分子介电材料之研磨液，可有效地增加聚亚芳香醚介电材料之化学机械研究速度。

关键词： 化学机械研磨 研磨液 介电材料 超微细粉末 二氧化铈粉末

作者: 刘如熹 施文庆 黎源欣 邱建华 蔡明时

作者单位: 台湾大学化学系(台北) 台湾永光化学工业股份有限公司(桃园) 毫微米元件实验室(新竹)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国颗粒学会”99年会、青年学者暨海峡两岸颗粒技术学术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 441～446

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）