硅基平面热线式NH<,3>敏元件的研究

摘要：

利用液相掺Sb的化学共沉淀方法制备了SnO<,2>-Sb纳米微粉，以其为气敏基体材料加入一些适量的掺寻研磨成气敏浆料，涂于带有Pt膜电极的硅衬底片上，经700℃焙烧制成气敏元件，对H<,2>、C<,2>H<,5>OH、NH<,3>等比较敏感。用NH<,4>VO<,3> 1.5wt℅的溶液含浸该元件，可改善元件对NH<,3>的选择性。

关键词： 化学共沉淀法制备 SnO<,2>-Sb纳米微粉 半导体气敏元件

作者: 全宝富 金丽妍 全海英 陈丽华 孙良彦

作者单位: 吉林大学电子工程系(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 267～270

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）