热释电薄膜红外探测器的微图形化及其性能
采用传统光刻工艺的化学腐蚀和剥离方法,分别实现了钛酸铅铁电薄膜、铂和金电极的微图形化,成功地制备了单元面积为80μm×80μm的64元热释电薄膜红外探测器阵列,其性能接近红外成像应用的实用化水平.结果表明:传统的光刻工艺是铁电薄膜和贵金属电极微图形化的一种既经济又有效的工艺.
化学腐蚀工艺 剥离工艺 铁电薄膜 微图形化 热释电薄膜红外探测器阵列
吴小清 李波 任巍 姚熹
西安交通大学电子材料研究室(陕西西安)
国内会议
厦门
中文
1409-1411
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）