氧化锆基氧传感器的抽气标定法及对低真空的测量

摘要：

本文对YSZ一端封闭的氧传感器抽气,探讨低真空压力表代替惰性含氧标准气体对氧传感器进行标定,以及测量抽气容器中低真空压力的新应用.

关键词： 化学传感器 氧传感器 抽气标定法 低真空测量

作者: 孙成文 陈深 徐权 杨芝洲

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国化学传感器学术交流会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 89-90

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）