氧化层电流弛豫特性的初步研究

摘要：

该文研究了高场作用下氧化层的电流弛豫特性，根据弛豫谱方法初步求出了原生电子陷阱的平均俘获截面为2.0x10<”－20>，面密度为1.1xl0<”11>,并进行了一些讨论。

关键词： 半导体器件 氧化层 电流弛豫特性

作者: 史保华

作者单位: 电子科技大学微电子研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第九届学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 171～173

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）