半导体器件的近场光学与近场光谱研究

关键词： 半导体器件 近场光学 近场光谱 显微镜 纳米分辨率 应用

作者: 周赫田 凌勇 张宇 尹彦 朱星

作者单位: 大学物理系介观物理与人工微结构国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国凝聚态光学性质学术会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 132～132

在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）