我国厚膜力度技术的现状及发展

摘要：

该文概述厚膜力敏传感技术的技术特点，国内十多年来研究、开发的现状和发展。介绍了目前厚膜力敏力传感器各品种的性能及应用。讨论并探讨了加快中国厚膜力敏技术创新和产业化的若干问题及建议。

关键词： 厚膜力敏传感器 应变式

作者: 马以武 常慧敏 宋箭

作者单位: 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 172～175

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）