厚膜TiN组织及性能的研究

摘要：

该文介绍了直流阴极弧法镀制的厚膜TiN的组织和性能。研究结果表明：厚膜TiN具有单一的、稳定的相结构、高硬度、高承载能力和高的附着强度，可以满足气浮动压轴承零件的性能要求。

关键词： 厚膜TiN 相结构 硬度 附着力

作者: 马志奎 何静 韩莉萍 王东祥

作者单位: 航天科技集团十六所(西安) 西安钟表研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国惯性技术学会第四届学术年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 182～186

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）