用于ESD失效定位的液晶探测技术

摘要：

该文介绍了用于半导体芯片ESD失效定位的向列相液晶探测技术，阐明了该技术在失效分析尤其是在ESD失效分析中的作用和优点，同时给出N沟结型场效应晶体管二个样 品管ESD失效定位的应用实例，证实了PN结窗口边缘Si-SiO<,2>界面是ESD损伤的主 要部位。

关键词： 半导体器件 半导体芯片 失效分析 失效定位 液晶探测

作者: 何小琦 施明哲

作者单位: 部五所分析中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电子产品防护技术”98研讨会

会议地点: 庐山

会议语种:中文

页码: 205～209

在线出版日期: 1998-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）