红外探测器用蓝宝石窗口片研制

摘要：

采用直拉法制备了、1”-2”结构完整、透光性能好的高纯蓝宝石单晶，经切、磨、抛加工，制成在3～5μm波段使用的红外探测器用蓝宝石窗口片。主要质量参数为：（1）晶向偏离（0001），小于0．5°；（2）透过率≥85℅（1mm厚片）；（3）平行度小于2”；（4）平面度小于5μm；（5）表面疵病Ⅲ-Ⅳ级。实际应用效果良好。

关键词： 红外探测器窗口 蓝宝石单晶

作者: 孙家龙 步云英 张玲 俞先华

作者单位: 市半导体技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 115～117

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）