MCT红外器件表面钝化

摘要：

表面钝化是制作MCT红外器件的关键工艺之一，文章对不同的钝化方法及复合钝化膜进行了讨论，并给出了器件制作效果及对现有问题的讨论。

关键词： 红外器件 表面钝化

作者: 耿小敏 罗元海

作者单位: 华北光电技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 161-163

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）