关键词： 半导体激光器 腔膜制备 真空镀膜 制造工艺
作者: 罗志良 刘道河
作者单位: 信息产业部电子十三所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
页码: 1～4
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）