横向驱动热执行器的结构模型及模拟

摘要：

该文在横向热驱动微执行器的热流模型及其模拟结果的基础上，应用结构力学矩阵位移法计算执行器关键节点的位移。对不同尺寸和不同外加条件下结构位移的分析可以得到一些热驱动微执行器设计上的要点。该程序是作者用Ｄｅｌｐｈｉ开发的ＳＥＭＥＭＳ模拟器的一部分，它具有良好的输入输出界面，可用于其它电热执行器的模拟。

关键词： 横向驱动 热执行器 冷臂 热臂 变曲段

作者: 匡一宁 黄庆安

作者单位: 大学微电子中心(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 614～617

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）