关键词： 恒温装置 化学气相沉积
作者: 李瑞云 王俊
作者单位: 科学院半导体研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 66～67
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）