化合物半导体外延生长:从LPE到MOVPE

摘要：

外延生长技术是半导体材料和器件制造的重要工艺，特别是液相外延(LPE)和金属有 机物气相外延(MOVPE)技术得到了尤其广泛的应用。该文在分析LPE和MOVPE外延生长技术的 工艺特点和薄膜特性的基础上，重点从热力学相平衡的角度，研究适合于半导体生长的成分空间。对比分析结果表明：LPE和MOVPE外延技术具有一些共同的优点和特点，而在另一方面它们又可以取长补短、互为补充。

关键词： 半导体材料 外延生长 热力学 相平衡

作者: 李长荣 杜振民 卢琳 张维敬

作者单位: 北京科技大学材料科学与工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国相图学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 182～185

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）