关键词： 半导体材料 气相反应 热力学分析 外延层
作者: 陆大成
作者单位: 中国科学院半导体材料科学实验室,国家微重力实验室(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
页码: 172～174
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）