砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量

摘要：

计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式，并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度。

关键词： 半导体材料 扩散长度 加速电压 电子束感生电流

作者: 王万年 李成基 李韫言

作者单位: 中国科学院半导体研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 328～331

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）