半导体工业用石英玻璃炉管

摘要：

半导体工业用石英炉管的要求主要集中在高温环境下的高纯度、机械稳定性和较长的使用寿命。增加壁厚、外表进行Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉高温涂层和降低ＯＨ〈’－〉含量，能有效的改善石英管的耐高温性能。另外，正确的清洗方法、适当的支撑和旋转操作也是获得良好的使用性能的途径。

关键词： 半导体 石英玻璃 炉管 Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉涂层 ＯＨ〈’－〉含量 耐高温 单晶炉

作者: 吕湘辉

作者单位: 电子材料厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国玻璃学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 157～161

在线出版日期: 1998-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）