半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法

关键词： 半导体 集成电路 微电子器件 显微分层内窥法 电子显微镜

作者: 肖玲 梁竹关 李亚文 李萍 徐晓华

作者单位: 云南大学物理系 昆明物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一次全国电子显微学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 585～586

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）