关键词： 半导体 汞探针 测试装置 检测
作者: 邵志标
作者单位: 交通大学微电子工程系
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 226～230
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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