1550nm超辐射发光管增透膜技术

摘要：

半导体超辐射发光管是实现半导体外腔激光器、光纤光栅激光器的关键元器件，而实现半导体超辐射发光管的关键技术在于解决半导体激光器腔面超低反射率的增透膜技术问题。该文介绍用于光纤光栅激光器等的1550nm超辐射发光管增透膜技术。

关键词： 半导体 超辐射发光管 增透膜技术

作者: 谭满清

作者单位: 中国科学院半导体研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 175～176

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）