纳米半导体电容型CO<,2>气体敏感元件研制
该文采用共沉淀与机械物理固相效应相结合的方法，经过电价掺杂半导化工艺制备了高纯纳米n型BaTiO<,3>，以此半导化粉体为原料，进行异质p型CuO半导化粉体掺杂，烧渗导电银浆，研制了一种新型纳米CuO-BaTiO<,3>半导体电容型CO<,2>气敏元件。经CO<,2>气敏特性测试动态实验装置，考察了该元件对CO<,2>气体的敏感性能。实验结果表明，所制元件的电容性质在400-750K温度范围内，对CO<,2>气体均呈现一定的敏感特性，属于电容型气敏元件。该元件可测CO<,2>气体浓度范围广(0℅～95℅)，低浓度(0-5℅)范围内，浓度与电容变化呈线性关系，利于直接标定，是一种很有发展前途的新型气敏元件。
半导化粉体 二氧化碳气敏元件 CO<,2>传感器
廖波 张捷 韦钦
理工大学电子工程系 材料物理中心
国内会议
厦门
中文
224～226
2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）