含氟体系金刚石簿膜生长的热力学研究

摘要：

根据非平衡热力学耦合模型计算了碳氢氟体系低压金刚石生长的非平衡定态相图，与大量实验事实比较相符合。通过相图讨论了系统压力对低压金刚石薄膜生长条件的影响，可以为实验研究提供理论指导。还讨论了氟原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。

关键词： 含氟体系金刚石 薄膜生长 热力学

作者: 刘志杰 张卫

作者单位: 大学电子工程系CVD研究室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 79～81

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）