利用分子束质谱“原位”诊断N<,2>异常辉光放电中的离子成份及能量分布

关键词： 含氮等离子体 辉光放电 正离子组份 能量分布

作者: 刘佳宏 丁洪斌 王文春 唐书凯 杨学锋

作者单位: 大连理工大学凌水新化学楼等离子体物理化学实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 49-52

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）