氦质谱正压检漏的定量性检测

摘要：

本文讨论了运用气罩积累法可解决氦质谱正压检漏中的定量性检测.针对生产中常见的被检件总结了几种检测方法.

关键词： 氦质谱正压检漏 定量性检测

作者: 杨智涵

作者单位: 首都航天机械公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 63-66

在线出版日期: 2001-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）