对氦质谱检漏漏率测定的一些看法

摘要：

氦质谱检漏仪借助已知漏率的比对漏孔,可以对被检工作给出漏率值,但使用不当会对检漏结果(被检工件的漏率)造成较大误差1,本文对比对漏孔的使用方法提出了一些注意事项,及对检漏仪的相关改进建议.

关键词： 氦质谱检漏仪 比对漏孔 漏率计量

作者: 吴孝俭 杨智涵 李明蓬

作者单位: 航天科技集团公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 16-18

在线出版日期: 2001-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）