对检漏仪漏率直读的一些看法

摘要：

利用氦质谱检漏仪的漏率直读功能可以方便地对被检工件作漏率测定.但使用不当也会带来误差造成错判.本文分析讨论了几种较典型的使用不当带来的错误及造成错误的原因,并论述了检漏仪直读功能的原理及正确使用该功能 的方法与注意事项,以达到检漏结果的真实可靠.

关键词： 氦质谱检漏 检漏仪 漏率直读 误差分析

作者: 吴孝俭

作者单位: 航天科技集团运载火箭研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 5-8

在线出版日期: 2001-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）