一种低真空电测技术的探讨

摘要：

开发了一种量程１ｋＰａ，过载能力可达１００倍的压阻微压传感器。将其用真空下的静电封接技术或真空烧结技术制作成绝压敏感元件，即成为目前市售产品中量程小的绝对压力传感器。用其制成测量低真空度的数字真空计，其绝大?恐性能不劣于Ｄｒｕｃｋ公司的电涡流型低压绝压传感器，而价格仅为其三分之一。

关键词： 过载能力 真空静封 压阻绝压传感器 数字式低真空计

作者: 王文襄 蔡亚平 赵宏科 鲍敏杭 沈绍群

作者单位: 传感器研究所 复旦大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 811～812

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）