埚转速度变化对直拉硅单晶氧径向均匀性的影响

摘要：

该文研究了直拉硅单晶氧径向均匀性与石英埚转速变化的关系。在单晶生长初期。石英埚转速变化对氧径向均匀性没有影响。但在单晶生长后期。石英埚转速增加导致氧径向均匀性变坏。

关键词： 埚转速度 直拉 硅单晶 氧 径向均匀性

作者: 郝玉清 张果虎 方锋 吴志强

作者单位: 有色金属研究总院半导工程研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 69～70

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）