关键词： 硅芯片技术 集成电路 微电子 纳电子
作者: 许居衍 李炳宗 汤庭鳌
作者单位: 中央研究所 大学
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国科学技术协会“科学技术面向新世纪”学术年会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 414～420
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）