硅谐振微传感器频率特性测试技术的研究

摘要：

硅谐振传感器与常规的谐振传感器相比，由于其敏感结构尺寸微小化，导致所要处理的信号微弱，谐振频率高于音频范围，并要求扫描的频率间隔达0.01Hz，这些要求对硅谐振微传感器频率特性的测量带来新的难题。

关键词： 硅谐振微传感器 谐振频率 感压膜层 硅谐振梁

作者: 邢维巍 周浩敏 刘广玉

作者单位: 北京航空航天大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 32～37

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）