硅微谐振器的光激振机理研究

摘要：

基于一维热传导理论和热弹性力学理论,对带镀膜硅微谐振器的光激振机理进行了分析.逐一分析了‘光压效应’、‘轴向热应变效应’和‘双金属效应’,重点分析了‘双金属效应’,并推导出了相应的振幅模型.理论计算值与实测值的对比表明了文中理论分析的正确性.

关键词： 硅微谐振器 光激振机理 双金属效应 传感器

作者: 刘月明 刘君华

作者单位: 西安交通大学电气工程学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第六届电子测量与仪器学术报告会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 101-104

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）