关键词： 硅微机械陀螺 制作工艺 控制回路分析
作者: 魏芳林 王小斌
作者单位: 工业总公司飞行自动控制研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第五届“惯性仪表与元件”学术交流会
会议地点: 乐清市
会议语种:中文
页码: 25～27
在线出版日期: 1998-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）