关键词： 硅微电子技术 硅基ＣＭＯＳ电路 集成系统
作者: 王阳元 张兴
作者单位: 大学微电子研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 1～4
在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）