硅微电容式加速度传感器闭环控制系统的研究

摘要：

本文介绍了一种利用MEMS技术中的三维成形腐蚀技术及多掩膜和无掩膜腐蚀工艺研制而成的结构新颖的硅微电容式加速度传感器,并对其结构、工作原理、传递函数、闭环控制系统及相应的测试结果进行了研究和讨论.

关键词： 硅微电容式传感器 闭环控制系统 微电子机械系统 MEMS

作者: 吴英 温志渝 江永清 蒋子平 胡松 陈刚

作者单位: 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 143-145

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）