硅碳氮薄膜的纳米硬度研究

摘要：

采用射频反应溅射工艺分别在含氟气氛中溅射SiC靶和在含碳气氛中溅射Si<,3>N<,4>靶制备了两种无定形硅碳氮薄膜.通过NanoIndenter XP型显微硬度分析仪来测量薄膜的硬度.分析了薄膜硬度与其组成结构的关系,结果表明Si-C键对薄膜的力学性能起主要作用.

关键词： 硅碳氮薄膜 纳米硬度 力学性能

作者: 彭晓峰 宋力昕 乐军 胡行方

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1968-1970

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）