硅PIN探测器的应用

摘要：

该文介绍ＰＩＮ探测器可能应用。着重介绍在无损检测（ＮＤＴ）中应用。从作者做市场调查表明，硅ＰＩＮ探测器有很大潜在市场，市场开发是一项艰巨工作。

关键词： 硅探测器 NDT

作者: 张继盛 王水弟 王勇 蒋志

作者单位: 清华大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 600～603

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）