关键词： 硅片 化学机械抛光 动力学
作者: 刘玉岭
作者单位: 工业大学
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 128～130
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）