关键词： 硅片 表面 化学性 沾污 检测
作者: 王敬 屠海令 朱吾新 周旗钢 刘安生 孙燕
作者单位: 金属研究总院
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 131～132
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）