微型硅梁谐振器的质量敏感性及其在气体检测方面的应用
该文对微型硅梁谐振器的质量敏感性进行了研究，建立了微型硅梁的谐振频率随频率随表面被吸附物质量变化的关系式及质量检测的灵敏度公式，从理论上给出了提高其灵敏度和性能的途径。在此基础上，对微型硅梁谐振器在气体检测方面的应用进行了研究，通过与石基晶体气体传感器的对气体检测实验，证明它是一种性能优良、值得进一步研究气体传感器结构。
硅梁谐振器 气体检测 微机械 微机电系统 气体传感器
徐涛 钟先信 武国英
北京大学微电子学研究所(北京) 重庆大学光电精密仪器系(重庆)
国内会议
成都
中文
117-119
1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）