扩散硅力敏器件力学模型的参数化实现

摘要：

该文介绍了一种扩散硅力敏器件力学模型的参数化实现方法。采用这种方法已经实现了多种形式器件的参数化模型，并应用于力敏器件的计算机辅助设计，实用证明该方法简便、易行，可极大地提高建模的效率及准确性。

关键词： 硅力敏传感器 计算机辅助设计 压阻效应

作者: 张治国

作者单位: 沈阳仪器仪表工艺研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 222～224

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）