一种谐振式微加速度传感器的设计与制作

摘要：

该文报道了一种新型体硅结构谐振式微加速度传感器的设计与制作。该器件采和电阻热激振、压阻电桥同步检测的方法来获得信号输出，其敏感结构为高度对称的四角支撑形式，并在质量块四边与支撑框架之间制作了四根谐振梁用于信号检测。该加速度传感器为三层硅结构，制作全部采用硅微机械加工工艺，对制作出的芯片信号，进行了封装测试，并给出了谐振子的性能测试结果。

关键词： 硅结构谐振式 微加速度传感器

作者: 李军俊 刘理天 杨景铭

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 46～49

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）