硅集成电路的极限和对策

摘要：

硅基微电子工业经历了飞速发展,半导体的集成程度不断增长,集成电路也经历了小规模到大规模和超大规模,本文讨论硅集成电路的极限和相应对策.

关键词： 硅基器件 集成电路 MOS技术 量子器件

作者: 王迅 上海市物理学会

作者单位: 复旦大学应用表面物理国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000上海科技论坛综合报告会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 152-153

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）