硅基多孔氧化铝薄膜微结构的TEM研究

关键词： 硅基材料 氧化铝薄膜 微结构 电镜观察

作者: 赵小宁 濮林 吴俊辉 邹建平

作者单位: 南京大学现代分析中心(南京) 南京大学物理系固体微结构国家实验室(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一次全国电子显微学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 473～474

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）