关键词： 硅基材料 氧化铝薄膜 断裂解理特性 电镜观察
作者: 濮林 朱健民 吴俊辉
作者单位: 南京大学物理系固体微结构国家实验室(南京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一次全国电子显微学会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 471～472
在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）