关键词： 硅化物 化学镀 金属化工艺
作者: 周进 盛柏林
作者单位: 大学电子工程系 帕瓦尔大功率器件公司
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）