一种新颖的硅浮栅驻极体微麦克风

摘要：

本文提出一种新颖的硅浮栅驻极体微麦克风.驻极体由周围被高质量绝缘层所隔离的浮栅电极和里面的净电荷形成,净电荷是P<”+>N结雪崩击穿所产生的热电子注入效应提供的,其工作温度可高达300°C.同时,由于驻极体可重复充电,大大提高了麦克风的工作寿命.该麦克风的制备工艺也完全与IC工艺兼容,具有声学系统集成的应用前景.

关键词： 硅浮栅驻极体微麦克风 制造工艺

作者: 邹泉波 谭智敏 刘理天 李志坚

作者单位: 新加坡南洋理工大学 清华大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 249-251

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）