生长过程中硅单晶表面温度的辐射法测量

关键词： 硅单晶 表面温度 辐射法测量

作者: 陈修治 樊瑞新

作者单位: 大学硅材料科学国家重点实验室(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 95～98

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）